Βαλβίδα πύλης μαχαιριού

Οι δομές βαλβίδων ρύθμισης πίεσης διασταυρούμενης ροής είναι ελκυστικές για εφαρμογές ελέγχου πίεσης υψηλής ροής λόγω της μειωμένης δύναμης ενεργοποίησης που απαιτείται και της μειωμένης περιοχής αποτυπώματος της συσκευής. Κατασκευάστηκε μια βαλβίδα πύλης με μαχαίρι, η οποία έλεγχε ροή 1,3 Nl/min σε πίεση τροφοδοσίας 1,5 bar. Η βαλβίδα κατασκευάστηκε μικροσκοπικά χρησιμοποιώντας χάραξη βαθιάς αντίδρασης ιόντων (DRIE) και δέσμευση σύντηξης πυριτίου. Η χρήση μικροκατεργασμένων βαλβίδων πύλης μαχαιριού σε συστήματα ελέγχου πίεσης βελτιώνει την απόδοση και μπορεί να πραγματοποιηθεί εξοικονόμηση κόστους.